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量測技術再升級！中山大學攜牛津儀器推新模式　高效驗證降低風險

圖/從實驗室直通產線　中山大學攜牛津儀器推進半導體材料量測技術【勁報記者張淑慧／高雄報導】半導體製程愈往2奈米、1.8奈米推進，晶片愈做愈小，材料與介面結構卻愈來愈複雜。對工程師而言，真正困難的不只是「看得夠不夠細」，而是當晶圓或材料出現異常時，能不能在不破壞樣品的情況下，快速找到問題，並把分析結