英國液態氫技術落地台灣 晶圓廠省下25%空間開啟製造新契機
圖/LUX液態氫系統革新供氫模式，提升晶圓廠空間效益。（圖／LUX）【今傳媒／記者張淑慧報導】隨著晶圓製程持續朝先進製程發展，超高純度氫氣已成為半導體製造不可或缺的關鍵氣體。現行晶圓廠供氫模式，多由外部供應商以高壓槽車將5N（99.999%）純度氫氣運送至廠區，再由晶圓廠進一步進行純化，以滿足先
圖/LUX液態氫系統革新供氫模式，提升晶圓廠空間效益。（圖／LUX）【今傳媒／記者張淑慧報導】隨著晶圓製程持續朝先進製程發展，超高純度氫氣已成為半導體製造不可或缺的關鍵氣體。現行晶圓廠供氫模式，多由外部供應商以高壓槽車將5N（99.999%）純度氫氣運送至廠區，再由晶圓廠進一步進行純化，以滿足先
圖/LUX液態氫系統革新供氫模式，提升晶圓廠空間效益。（圖／LUX）【焦點時報／記者蔡宗憲報導】隨著晶圓製程持續朝先進製程邁進，超高純度氫氣已成為半導體製造不可或缺的重要關鍵。在晶圓製造過程中，晶圓廠供氫方式都是由外部供應商透過高壓槽車運送5N（99.999%）純度氫氣至廠區，再經由晶圓廠自行進