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和正豐Easy Clean Flare Fitting打造高潔淨流體新標準 助攻台灣供應鏈搶攻國際先進製程商機

【記者張嘉誠／綜合報導】隨著半導體製程邁向2奈米、A16甚至更先進節點，高純度化學品（UHPChemicals）與特殊氣體輸送系統的重要性日益提升，流體零組件的潔淨度與可靠性，已成為影響晶圓良率與設備穩定度的重要關鍵。其中，藥液殘留（ChemicalResidue）與微粒污染（