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中國推進國產DUV曝光機量產 半導體設備自主化再跨一步

商傳媒｜吳承岳／台北報導中國在半導體製造設備自主化方面再有新進展。根據《Tom'sHardware》報導，上海一家獲政府支持的企業已開始量產國產浸潤式深紫外光（DUV）曝光機，首批設備預計於今年交付中芯國際、華虹半導體及長鑫儲存等中國主要晶圓製造商，作為晶圓生產線驗證及後續導入使用。消息指