英國液態氫技術落地台灣 晶圓廠省下25%空間開啟製造新契機
圖/LUX液態氫系統革新供氫模式，提升晶圓廠空間效益。（圖／LUX）【今傳媒／記者張淑慧報導】隨著晶圓製程持續朝先進製程發展，超高純度氫氣已成為半導體製造不可或缺的關鍵氣體。現行晶圓廠供氫模式，多
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