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半導體碳費壓力升溫　鉅為推化學吸附尾氣技術拚減排

碳費、碳邊境機制一個接一個排隊上門時，半導體廠再也無法只盯電費與產能。鉅為宣布擴大工業尾氣處理業務，主打觸媒化學吸附技術，鎖定晶圓廠製程與PCB、封裝產線排放的砷、磷、硼與全氟化物等難纏氣體，希望幫產業在淨零壓力下多拿幾分。現行多數廠房以千度高溫燃燒配濕式洗滌處理廢氣，天然氣與冷卻水用量驚人，尾氣